Vacuumtechniek Hoogvacuumpompen Magnetisch gelagerde turbomoleculairpompen | STP-serie turbomoleculairpompen |
|
|
Edwards STP-serie volledig magnetisch gelagerde
 turbo-moleculair pompen.De STP-serie turbomoleculair pompen zijn volledig magnetisch gelagerd en zijn daarmee trillingsarm, onderhouds- en volledig olievrij. De pompen zijn voorzien van een elektronisch balanceer- en uitlijningsmechanisme, zodat de pompen in de meest veeleisende toepassingen ingezet worden zoals in de halfgeleider industrie, bij de fabricage van fotovoltaïsche panelen, 'flatpanel' toepassingen en in andere depositie- en ets processen.
De pompen kunnen in iedere oriëntatie gemonteerd worden en door gelijkstroom motoren wordt de pomprotor in positie gehouden tijdens stroomuitval.
Met meer dan 200.000 geïnstalleerde pompen heeft de STP pomp haar waarde bewezen. De meest geavanceerde sensor technieken worden in deze pompen toegepast, waarbij moderne bus-communicatie ervoor zorgt dat de pompen op afstand bediend en gevolgd kunnen worden.
De STP-serie kent verschillende varianten die ontwikkeld zijn voor toepassingen waarin trillingen, chemische bestendigheid, hoge gasflows of hoge compressieverhoudingen belangrijk zijn. De ‘Advanced’ serie is speciaal ontwikkeld voor ets- & depositie processen zoals plasma processen.
STPXA2703C, STPXA3203C, STPXA4503C
 Deze STPXA-serie turbopompen leveren uitzonderlijke prestaties in het werkgebied tot 2300 sccm. Door moderne ontwerptechniek voor de rotor- en stator-geometrie, wordt een verbeterde warmtehuishouding en grotere pompcapaciteit gehaald. Hierdoor is de pomp geschikt om grote gasflows te verpompen en is de kans op depositie van restgassen verminderd. Deze turbopompen zijn met name geschikt voor etsen, lithografie en LCD-processen.
SCU controllers voor de STP-serie turbopompen
 De volledig digitale SCU controller is geschikt voor STP turbopompen van 450 tot 3500 l/s. Deze controller wordt geleverd in 1200 of 2100 W uitvoering en heeft uitgebreide communicatie mogelijkheden. De nieuwe AVR (Auto Vibration Reduction) funktie zorgt voor een vermindering van de trillingen. Verder beschikt deze controller over een voorwaarschuwing voor onderhoud die een exacte timing geeft voor het onderhoud van de turbopomp.
Voor meer informatie in PDF:  STP Maglev Turbopompen [183.89 KB] STP/STPH-serie [1.99 MB] STPA-serie.pdf [1.79 MB] STPXA-Serie [1.6 MB] STP controllers [1.33 MB] |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Laatst aangepast ( Tuesday, 03 May 2011 ) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
