Opdampsysteem voor OLED, zonnecellen en geheugen devices

Technische Universiteit Eindhoven doet onderzoek naar ontwikkeling en optimalisatie van zonnecellen, LED’s en geheugen devices op basis van organische materialen. Hiertoe maakt men sinds kort gebruik van twee opdampsystemen waarmee devices worden voorzien van organische materialen en/of metalen. Het opdampsysteem is geïntegreerd in een zgn. glovebox om volledig zuurstof- en vochtvrij te kunnen werken. De opdampsystemen zijn PLC gestuurd en een depositie-controller zorgt voor het uitvoeren van standaard opdampprogramma’s. Hierdoor kunnen de lagen reproduceerbaar en nauwkeurig worden aangebracht. Het pompsysteem bestaat uit een turbopomp met olievrije voorpomp en de einddruk van de vacuümkamer is < 8*10-8 mbar. De basis procesdruk van 5*10-7 mbar
wordt binnen 20 minuten bereikt.